超高純氣體露點變送PUR-2W-M12

測量范圍-120~40℃，電拋光

Pura高純氣體露點變送器是Michel專為半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計的露點儀，這款小巧的變送器擁有堅固而獨立的傳感器，專門用來測量超高純氣體中的微量水分含量。

超高純氣體露點變送PUR-2W-M12使用和安裝簡單，可選兩線制、三線制和危險區(qū)域的型號，是一款可自定義的產(chǎn)品，可以滿足各種特殊需求。

特征

• 測量范圍min可達-120°Cdp (1ppbV)

• 穩(wěn)定而可重復(fù)的測量

• 模擬和數(shù)字輸出

• 1/4"MVCR 過程連接

• 可選的顯示/報警單元

• 可選危險區(qū)域認(rèn)證

應(yīng)用

• 半導(dǎo)體制造

• 高純氣

• 光纖生產(chǎn)

• 光學(xué)鍍膜工藝

型號選擇：

老型號：PUR-TX-2W-M12-PRM                  新型號：PUR-2W-M12 -AA

老型號:  PUR-AOL2-PRM-C1-DC-SCO5-MC05-12    新型號:  PUR-AOL2-A-A-B

新型號：PUR-TX-2W-AA

PUR-2W-M12

• PUR-TX-2W – 兩線制 4-20mA

• PUR-TX-3W – 三線制 4-20mA

• PUR-IS-2W – 防爆型，兩線制4-20mA

防爆認(rèn)證：

ATEX/UKCA: II 1 G Ex ia IIC T4 Ga (-20...+70 °C)

IECEx: Ex ia IIC T4 Ga (-20...+70 °C)

TR CU: 0Ex ia IIC T4 Ga (-20...+70 °C)

cQPSus: Class I, Division 1, Groups A, B, C & D, T4

Class I, Zone 0, AEx ia IIC T4 Ga, Ex ia IIC T4 Ga Tamb +70 °C

測量原理

陶瓷阻抗傳感器

Michell密析爾的陶瓷濕度傳感器采用獨特的厚薄膜技術(shù)。

露點儀采用阻抗技術(shù)，基于水分子的導(dǎo)電性。

在半導(dǎo)體化的陶瓷基底上，均勻的敷涂了金屬導(dǎo)電層。導(dǎo)電層之

間的感濕層能感受到氣體樣品中的水蒸氣分壓。水氣分壓決定了

水分子進入感濕層的水分子的數(shù)量，即對應(yīng)于導(dǎo)電層之間的阻抗

值。露點值和水氣分壓有一一對應(yīng)關(guān)系。經(jīng)過校驗，阻抗值和露

點值的對應(yīng)關(guān)系建立起來，被儲存在變送器的芯片中。

傳感器采用半導(dǎo)體極的陶瓷材料作為基底，給予傳感器高的結(jié)

構(gòu)強度和均勻特性。

使Michell密析爾濕度傳感器具備其他氧化鋁傳感器不可匹配的穩(wěn)定性。